【48812】拓荆科技取得实用新型专利授权:“气体传输体系及半导体镀膜设备”
发布日期:2024-08-30 07:01:26 作者: 产品中心
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证券之星音讯,依据天眼查APP多个方面数据显现拓荆科技(688072)新取得一项实用新型专利授权,专利名为“气体传输体系及半导体镀膜设备”,专利申请号为CN4.9,授权日为2024年8月23日。
专利摘要:本实用新型供给了一种气体传输体系,以及一种半导体镀膜设备。所述气体传输体系包含榜首管路、压力开关及第二管路。所述榜首管路的榜首端衔接反响气源,而其第二端衔接工艺腔室,以向所述工艺腔室供给工艺所需的反响气体。所述压力开关设于所述榜首管路的榜首端与第二端之间,用于检测所述反响气体的压力,并操控所述榜首管路的通断,以经由所述榜首管路的第二端向所述工艺腔室供给具有安稳压力的反响气体。所述第二管路的榜首端衔接吹扫气源,而其第二端接入所述榜首管路中接近所述压力开关的方位,用于向所述榜首管路通入吹扫气体,以吹扫所述压力开关接入所述榜首管路的方位。本实用新型能够吹扫压力开关的死区方位,以提高晶圆的成膜质量。
今年以来拓荆科技新取得专利授权23个,较去年同期减少了56.6%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研制方面投入了5.76亿元,同比增52.07%。
证券之星估值剖析提示拓荆科技盈余才能平平,未来营收成长性较差。归纳基本面各维度看,股价偏高。更多
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